Thin film pattern forming method and fabrication method of semiconductor device using the same,申请号KR20070135600-传众专利搜索

发明名称	Thin film pattern forming method and fabrication method of semiconductor device using the same
摘要
申请公布号	KR100939780(B1)	申请公布日期	2010.02.04
申请号	KR20070135600	申请日期	2007.12.21
申请人		发明人
分类号	H01L21/3205	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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