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发明名称
摘要
申请公布号	JP4409807(B2)	申请公布日期	2010.02.03
申请号	JP20020014132	申请日期	2002.01.23
申请人		发明人
分类号	C25F7/00;C23F1/00;C23F1/08;C25F3/00;C25F3/30;H01L21/288;H01L21/3063	主分类号	C25F7/00
代理机构		代理人
主权项
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