用于平板显示器的像差可校正大视场投影光学系统

摘要

一种用于制作平板显示器(FPD)的曝光系统，包括适宜支承掩模版的掩模版台。一个基板台，适宜支承基板。一个反射光学系统，适宜把掩模版成像在基板上。该反射光学系统包括：包含第一反射镜及第二反射镜的主反射镜，和副反射镜。当把掩模版的像通过第一反射镜、副反射镜、和第二反射镜的反射，投射在基板上时，该反射光学系统有足够的自由度用于调整和校正三级像差。

主权项

1.一种用于制作平板显示器的曝光系统，包括：掩模版台，适宜支承掩模版，该掩模版被配置成图形化一个辐射束；基板台，适宜支承基板；反射光学系统，适宜把所述图形化辐射束引导到所述基板上，所述反射光学系统包含主反射镜和副反射镜，主反射镜包含第一反射镜和第二反射镜；第一校正器，包括位于掩模版台与主反射镜之间的平行玻璃板、或平行玻璃板与凹凸透镜对、或具有非球面外形的名义平面反射镜、或会聚反射镜；和第二校正器，包括位于基板台与主反射镜之间的平行玻璃板、平行玻璃板与凹凸透镜对、具有非球面外形的名义平面反射镜、或会聚反射镜；其中，当把掩模版的像通过第一反射镜、副反射镜、和第二反射镜的反射，投射在基板上时，所述反射光学系统有足够的自由度用于调整和校正像差。