| 主权项 |
1、一种电子束复合等离子辉光放电的提纯系统，包括有真空单元、电子束熔炼单元、水冷却单元，其特征在于：还包括有等离子辉光放电单元、连续送料单元(1B)；电子束熔炼单元、等离子辉光放电单元构成电子束离子束复合提纯单元(1A)；所述真空单元包括有预真空室(15)和主真空室(12)；所述电子束熔炼单元包括有高压电供给箱(1)、A电子枪(3A)、B电子枪(3B)、C电子枪(3C)、D电子枪(3D)；水冷却单元包括有熔料槽(6)的槽体上设有的水冷却通道、集料槽(9)的槽体上设有的水冷却通道，以及为熔料槽(6)、集料槽(9)提供冷却水源的冷却水装置；所述等离子辉光放电单元包括有等离子发生器(27)、水冷式电极(28)；连续送料单元(1B)的预真空室(15)的一端安装在电子束离子束复合提纯单元(1A)的主真空室(12)的壳体上；电子束离子束复合提纯单元(1A)的主真空室(12)的上方左侧通过A安装板(4A)固定有A电子枪(3A)、B电子枪(3B)，且A电子枪(3A)、B电子枪(3B)分别通过电子枪引线与高压电供给箱(1)连接，主真空室(12)的上方右侧通过B安装板(4B)固定有C电子枪(3C)、D电子枪(3D)，且C电子枪(3C)、D电子枪(3D)分别通过电子枪引线与高压电供给箱(1)连接；主真空室(12)的上方安装有等离子发生器(27)，与等离子发生器(27)连接有水冷式电极(28)置于主真空室(12)内，且位于熔料槽(6)的上方；熔料槽(6)的底部设有销孔(6C)，熔料槽(6)通过销轴(7)与销孔(6C)的配合连接在熔料槽支架(8)的顶端，熔料槽支架(8)的底端安装在底部支架(11)上；底部支架(11)上连接有A水冷底板(10A)、B水冷底板(10B)，A水冷底板(10A)、B水冷底板(10B)上安装有集料槽(9)，集料槽(9)的底部与A水冷底板(10A)、B水冷底板(10B)接合处分别设有A陶瓷绝缘垫(10C)、B陶瓷绝缘垫(10D)；连续送料单元(1B)的物料进给壳体(16)内安装有A丝杠(23B)、B丝杠(25B)、进料轴(22)；A丝杠(23B)的左端安装在A轴承(21A)内，A轴承(21A)连接在物料进给壳体(16)的左端面上方，A丝杠(23B)的右端顺次通过A螺纹孔(18A)、A齿轮(23A)的通孔后安装在C轴承(21C)内，C轴承(21C)连接在物料进给壳体(16)的右端面上方；B丝杠(25B)的左端安装在B轴承(21B)内，B轴承(21B)连接在物料进给壳体(16)的左端面下方，B丝杠(25B)的右端顺次通过B螺纹孔(18B)、B齿轮(25A)的通孔后安装在D轴承(21D)内，D轴承(21D)连接在物料进给壳体(16)的右端面下方；进料轴(22)由套筒和伸缩杆构成，套筒右端固连在双螺母(18)的C通孔(18C)上，伸缩杆的左端套入套筒内，伸缩杆的右端连接在进料槽(14)上；进料轴(22)位于物料进给壳体(16)的中心位置，进料轴(22)的套筒左端伸出中心孔(16A)后，通过联轴器(20)与旋转电机(19)的输出轴实现连接，进料轴(22)的伸缩杆右端穿过双螺母(18)的C通孔(18C)后安装在进料槽(14)上；前行电机(17)通过连接盘(17A)安装在物料进给壳体(16)上，前行电机(17)的输出轴连接有主动齿轮(24)，主动齿轮(24)与A齿轮(23A)、B齿轮(25A)啮合；物料进给壳体(16)的右端面与预真空室(15)的左端面连接，预真空室(15)内放置有进料槽(14)，预真空室(15)的上方设有端盖(26)，预真空室(15)的右端上设有闸板阀(13)。 |
