| 发明名称 | 加压加热设备及方法 | ||
| 摘要 | 一种加压加热设备及方法，其中该加压加热设备包括：基台，其构造为将待加压加热物体置于其上；加压加热头，其设置为与所述基台相对；以及压力驱动机构，其构造为相对于所述基台可移动地支撑所述加压加热头。加压加热头包括：多个加压加热工具；保持件，其构造为独立地容置每一个所述加压加热工具；单个加热块，其构造为与所述加压加热工具的端部接触从而传递热；以及多个支撑件，其构造为分别相对于所述保持件独立地和可移动地支撑所述加压加热工具。 | ||
| 申请公布号 | CN101640167A | 申请公布日期 | 2010.02.03 |
| 申请号 | CN200910149691.0 | 申请日期 | 2009.06.19 |
| 申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 伊仓和之 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王玉双;付永莉 |
| 主权项 | 1.一种加压加热设备，包括：基台，其构造为将待加压加热物体置于其上；加压加热头，其设置为与所述基台相对；以及压力驱动机构，其构造为相对于所述基台可移动地支撑所述加压加热头，其中，所述加压加热头包括：多个加压加热工具；保持件，其构造为独立地容置所述多个加压加热工具中的每个加压加热工具；单个加热块，其构造为与所述多个加压加热工具的端部接触从而传递热；以及多个支撑件，其构造为分别相对于所述保持件独立地和可移动地支撑所述多个加压加热工具。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||