发明名称 结晶氮化镓以及相关的晶片和器件
摘要 本发明提供了一种包含镓和氮的结晶组合物。所述结晶组合物在确定的结晶组合物体积内可以具有每立方厘米低于约3×10<sup>18</sup>的氧浓度,以及可以不含二维面边界缺陷。该体积可以具有至少一个约2.75mm或更大的尺寸,并且该体积可以具有每平方厘米低于约10,000的一维线缺陷位错密度。
申请公布号 CN101641463A 申请公布日期 2010.02.03
申请号 CN200880007693.X 申请日期 2008.01.09
申请人 莫门蒂夫性能材料股份有限公司 发明人 马克·P·德维林;朴东实;史蒂文·F·勒波伊夫;拉里·B·劳兰德;克里斯蒂·J·纳兰;洪慧聪;斯蒂芬·D·阿瑟;彼得·M·桑德维克
分类号 C30B7/10(2006.01)I;C30B9/12(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I 主分类号 C30B7/10(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 王国祥
主权项 1.一种结晶组合物,其包含镓和氮,具有由尺寸x、y和w限定的预定体积,其中x和y限定了垂直于厚度w的平面;所述结晶组合物在确定的结晶组合物体积内具有每立方厘米低于约3×1018的氧浓度,以及不含二维面边界缺陷,其中x或y中的至少一个尺寸为2.75mm或更大,并且所述确定的结晶组合物体积具有每平方厘米低于约10,000的一维线缺陷位错密度。
地址 美国康涅狄格州