发明名称 单晶炉的下炉体结构
摘要 本实用新型涉及制造单晶硅用设备领域,尤其是用于制造单晶装置的一个下炉体结构。该炉体为中空圆柱状炉体,炉体的两端分别设置有法兰,炉体内壁设置有夹层,炉体外壁设置有进水口座、出水口座与夹层相连通,法兰与炉体端部焊接连接。本实用新型的有益效果是延长了下炉体的使用寿命,减少了生产成本。
申请公布号 CN201395640Y 申请公布日期 2010.02.03
申请号 CN200920039689.3 申请日期 2009.04.20
申请人 潘燕萍;潘国强 发明人 潘燕萍;潘国强
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 代理人 何学成
主权项 1、单晶炉的下炉体结构,该炉体为中空圆柱状炉体,炉体的两端分别设置有法兰,其特征在于:炉体内壁设置有夹层,炉体外壁设置有进水口座、出水口座与夹层相连通,法兰与炉体端部焊接连接。
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