发明名称 |
真空镀膜机集成控制系统 |
摘要 |
本发明公开了一种真空镀膜机集成控制系统,它包括硬件部分和软件部分,所述硬件部分包括计算机、实现与计算机连接功能的通讯卡和可编程控制器;所述软件部分包括真空系统、预熔系统和工艺系统,本发明采用模块化方式,选择工业计算机作为集成控制系统的核心,负责数据采集、处理以及发出执行命令和对执行结果的反馈显示,并记录信息数据,以便用户对蒸镀过程中的产品进行质量分析,选择可编程控制器作为动作的下层控制单元,执行底层动作以及互锁判断;选择通讯卡作为设备数据与命令联系的通道。用户设置更加灵活方便,按照镀膜人员操作惯,搭建相应的功能模块,既保证了各个功能块的可扩展性,也保证了操作人员的方便性。 |
申请公布号 |
CN101638775A |
申请公布日期 |
2010.02.03 |
申请号 |
CN200910065935.7 |
申请日期 |
2009.08.26 |
申请人 |
河南中光学集团有限公司 |
发明人 |
马文鹏;陈新;赵刚 |
分类号 |
C23C14/54(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/54(2006.01)I |
代理机构 |
郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) |
代理人 |
季发军 |
主权项 |
1.一种真空镀膜机集成控制系统,其特征在于:它包括硬件部分和软件部分,所述硬件部分包括计算机、实现与计算机连接功能的通讯卡和可编程控制器;所述软件部分包括真空系统、预熔系统和工艺系统,所述真空系统采用集成控制技术,在同一界面上,对阀门的动作时间、上下烘烤选择、冷凝泵制冷、升温解冻、气体流量控制、压强自动控制、工转速度、温度设定进行集中控制。 |
地址 |
473000河南省南阳市中州路254号 |