| 发明名称 | 旋转式真空锁 | ||
| 摘要 | 一种旋转式真空锁，涉及微电子加工设备，其中：摆动气缸(12)通过弹性连轴器(10)与旋转轴(8)连接，旋转轴(8)与固定底座(9)枢接；压力连杆(7)一端与旋转轴(8)固定连接，另一端通过球形万向压头(6)与阀门盖板(1)连接；阀门盖板(1)底面具有密封圈(5)。阀门盖板(1)为矩形，其通过压盖(2)连接到球形万向压头(6)上。压力连杆(7)为2个或3个。缩小了阀门体积，降低了阀门与阀体加工及安装精度。用于真空室密封。 | ||
| 申请公布号 | CN201397808Y | 申请公布日期 | 2010.02.03 |
| 申请号 | CN200920108195.6 | 申请日期 | 2009.05.20 |
| 申请人 | 北京金盛微纳科技有限公司 | 发明人 | 梁聚宝;林红;薛志杰 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱元萍 |
| 主权项 | 1、一种旋转式真空锁，其特征是：摆动气缸(12)通过弹性连轴器(10)与旋转轴(8)连接，旋转轴(8)与固定底座(9)枢接；压力连杆(7)一端与旋转轴(8)固定连接，另一端通过球形万向压头(6)与阀门盖板(1)连接；阀门盖板(1)底面具有密封圈(5)。 | ||
| 地址 | 100193北京市海淀区东北旺南路28号 | ||