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发明名称
摘要
申请公布号 JP4406945(B2) 申请公布日期 2010.02.03
申请号 JP19980332790 申请日期 1998.11.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/768;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
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