曲柄滑块式机械臂

摘要

本实用新型公开了一种机械臂，特别是一种在真空镀膜设备各真空室之间完成传递工件的机器人的曲柄滑块式机械臂。结构如下：支架板安装在空心轴上，滚珠轨道安装在支架板的端部，死点引出器下部的立轴滑配于支架板的圆孔中，可在滚珠轨道上滑动的滑块、手臂杆座、手臂杆连接在一起，连杆与手臂杆连接，摆杆一端固结于主轴上另一端与连杆铰接，连杆上设有与死点引出器上的拨销匹配的凹形引导槽，在手臂杆的前端设置机械手。本实用新型结构简单、用材少、占用运动空间小、加工制造方便、可显著降低设备制造和使用成本；其性能稳定、可靠性高，可以免维护，实用性强。本实用新型除在真空镀膜设备以外，也可以应用到其它领域。

主权项

1、曲柄滑块式机械臂，其特征在于结构如下：支架板(10)安装在空心轴(14)上，滚珠轨道(1)安装在支架板(10)的端部，死点引出器(17)下部的立轴(16)滑配于支架板(10)的圆孔中，可在滚珠轨道上滑动的滑块(2)、手臂杆座(3)、手臂杆(4)连接在一起，连杆(5)与手臂杆(4)连接，摆杆(12)一端固结于主轴(15)上另一端与连杆(5)铰接，摆杆(12)上的第二扇齿(13)与死点引出器(17)上的第一扇齿(9)相匹配，连杆(5)上设有与死点引出器(17)上的拨销(6)匹配的凹形引导槽(20)，在手臂杆(4)的前端设置机械手(19)。