| 发明名称 | 激光加工装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及利用激光进行孔加工及切断的激光加工装置。本发明提供的激光加工装置通过使3个以上的分割光入射到1个加工透镜上，能够实现高速加工，并且加工品质(加工孔的形状、大小、精度及直线度)优良。通过利用入射角不同的全反射·透过型的光速合成机构(31c)使偏振方向相同的光束(A)的光路和光束(B)的光路在大致同一方向汇聚后，通过偏振光型的光束合成机构(32)使光束(A)及光束(B)的光路，及与它们偏振方向不同的光束(C)的光路大致在同一方向上汇聚，而入射到加工透镜(45)上。 | ||
| 申请公布号 | CN100586633C | 申请公布日期 | 2010.02.03 |
| 申请号 | CN200410008634.8 | 申请日期 | 2004.03.12 |
| 申请人 | 日立比亚机械股份有限公司 | 发明人 | 森贞雄;菅原弘之;青山博志 |
| 分类号 | B23K26/067(2006.01)I | 主分类号 | B23K26/067(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 熊志诚 |
| 主权项 | 1.一种激光加工装置，是具备光分割机构、偏向机构、光束合成机构、及加工透镜，通过上述光分割机构将激光分割成光路不同的三个激光分割光，通过上述光束合成机构将上述三个激光分割光的上述光路在大致同一方向汇聚，使该三个激光分割光入射到1个上述加工透镜上的激光加工装置，其特征在于，上述光束合成机构由全反射·透过型光束合成机构和偏振型光束合成机构构成；该全反射·透过型光束合成机构具备具有第一斜面的第一三角棱镜和具有第二斜面的第二三角棱镜，并且上述第一三角棱镜和上述第二三角棱镜间隔开一定距离配置成使所述第一斜面和所述第二斜面相互面对，从互为大致直角的两个方向入射的第一激光分割光和第二激光分割光的光路通过该全反射·透过型光束合成机构在大致同一方向汇聚，再有上述偏振型光束合成机构使同一偏振状态的上述第一和第二激光分割光的上述汇聚后的光路、和偏振状态与上述第一和第二激光分割光不同且大致垂直于第一和第二激光分割光的第三激光分割光的光路在大致同一方向上汇聚。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||