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发明名称 JUNCTION-PHOTOVOLTAGE METHOD AND APPARATUS FOR CONTACTLESS DETERMINATION OF SHEET RESISTANCE AND LEAKAGE CURRENT OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 EP2149054(A2) 申请公布日期 2010.02.03
申请号 EP20080826185 申请日期 2008.05.19
申请人 IMEC 发明人 SCHAUS, FREDERIC;CLARYSSE, TRUDO
分类号 G01R31/265 主分类号 G01R31/265
代理机构 代理人
主权项
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