太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池的制造方法，该方法包括：在半导体衬底的第一表面上形成发射体层；在所述发射体层上形成绝缘层；在所述绝缘层上以特定图样形成化学化合物，该化学化合物包含与所述发射体层具有相同传导类型的掺杂剂；通过去除其上形成有化学化合物的绝缘层并扩散所述掺杂剂，形成高浓度发射体部分；去除所述化学化合物；以及形成被电连接到所述高浓度发射体部分的第一电极。

主权项

1、一种太阳能电池的制造方法，包括：在半导体衬底的第一表面上形成发射体层；在所述发射体层上形成绝缘层；在所述绝缘层上以特定图样施加化学化合物，该化学化合物包含与所述发射体层具有相同传导类型的掺杂剂；通过热退火处理用包含掺杂剂的化合物刻蚀所述绝缘层，以去除对应于所述化学化合物位置的所述绝缘层的部分，并将所述掺杂剂朝向所述发射体层扩散，从而形成高浓度发射体部分；去除所述化学化合物；以及形成被电连接到所述高浓度发射体部分的第一电极。