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发明名称 POSITIVE RESIST COMPOSITION AND PATTERN-FORMING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100939988(B1) 申请公布日期 2010.02.03
申请号 KR20050094648 申请日期 2005.10.08
申请人 发明人
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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