发明名称 FILM FORMING METHOD, FILM FORMING DEVICE AND COMPUTER READABLE MEDIUM
摘要
申请公布号 KR100940377(B1) 申请公布日期 2010.02.02
申请号 KR20050026283 申请日期 2005.03.30
申请人 发明人
分类号 C23C16/24;H01L29/43;C23C16/455;C23C16/56;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/324;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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