蒸镀设备及其运送装置

摘要

一种蒸镀设备，用于在蒸镀制程中蒸镀一基板，包括：一腔体、一发射源、一机械手臂以及一遮罩。发射源设于腔体中，机械手臂系用于承载基板进入腔体中，遮罩系设于机械手臂上，并位于基板与发射源之间。当基板由机械手臂运送时，遮罩遮蔽基板以避免发射源所发射出的分子污染基板。

主权项

一种运送装置，在一蒸镀制程中运送一基板S，包括：一机械手臂，用于承载该基板；以及一遮罩，设于该机械手臂上，当该基板由该机械手臂运送时，该遮罩遮蔽该基板以避免该基板被污染，其中该遮罩具有一凹陷部，该基板系置于该凹陷部中。