雷射加工装置

摘要

本发明涉及一种通过使用雷射束来加工工件表面的雷射加工装置，其包括，用于产生雷射束的雷射发生单元；具有多个微镜的微镜器件，这些微镜可选择地将从所述雷射发生单元发射的雷射束中一部分传递到工件的表面，以使所述工件被加工成所需形状。其中，所述微镜器件的微镜能够有选择地改变由所述雷射发生单元发射的雷射束的光路。本发明可将工件表面加工成二维或三维所需形状。

主权项

一种利用雷射束加工工件表面的雷射加工装置，包括，用于产生雷射束的雷射发生单元；具有多个微镜的微镜器件(micromirror device)，该些微镜可选地将从所述雷射发生单元发射的雷射束中一部分传递到工件表面，以使所述工件被加工成所需形状，其中，所述微镜器件的微镜能够有选择地改变由所述雷射发生单元发射的雷射束的光路，通过仅改变相应于工件加工表面的微镜中部分微镜的光束传递方向，来调整对所述加工表面的雷射束的输出。