避免晶片弹射器碰撞之设备

摘要

一种用以避免一晶圆台桌中晶片弹射器碰撞之设备，其中该晶圆台桌中包括有：一晶圆，其上面具有晶片；一台桌驱动组件，其用以驱动该晶圆台桌；以及一弹射器，其设置在该晶圆台桌中，用以当被配置在一晶圆环框架上之晶片被抓取时能够支撑该些晶片，其中该设备包括一设置在该晶圆台桌中之止挡单元，该止挡单元用以当其接触该弹射器时能够停止该台桌驱动组件。当该晶圆台桌因为发生软体错误或资料输入错误而移动至超过预设范围之位置时，可以避免晶圆台桌与弹射器之间的碰撞。是以，每一个包括晶圆台桌与弹射器之部件可以避免损坏，且因此该设备之可靠度得以增加。

主权项

一种用以避免一晶圆台桌中一晶片弹射器之碰撞的设备，其中一在上面具有晶片的晶圆环框架被装设在一用以驱动该晶圆台桌之台桌驱动组件上，一晶圆扩张环系设置在该晶圆台桌中用以扩张该晶圆环框架，且一设置在该晶圆台桌中之弹射器系用以当配置在该晶圆环框架上之晶片被抓取时能够支撑住该些晶片，该设备至少包含：一止挡单元，其设置在该晶圆台桌中，用以当其接触该弹射器时停止该台桌驱动组件之驱动。