发明名称 Elastic Membrane And Flexible Membrane
摘要
申请公布号 KR100939556(B1) 申请公布日期 2010.01.29
申请号 KR20097007971 申请日期 2002.12.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B24B41/06 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址