METHOD FOR MANUFACTURING A CERAMIC COATING MATERIAL FOR THERMAL SPRAY ON THE PARTS OF SEMICONDUCTOR PROCESSING DEVICES,申请号KR20070060758-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR MANUFACTURING A CERAMIC COATING MATERIAL FOR THERMAL SPRAY ON THE PARTS OF SEMICONDUCTOR PROCESSING DEVICES
摘要
申请公布号	KR100939256(B1)	申请公布日期	2010.01.29
申请号	KR20070060758	申请日期	2007.06.20
申请人		发明人
分类号	C01F7/00;C01F17/00;C23C4/10;H01L21/205	主分类号	C01F7/00
代理机构		代理人
主权项
地址

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