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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100938528(B1) 申请公布日期 2010.01.25
申请号 KR20077030268 申请日期 2007.01.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/20 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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