| 发明名称 |
Sensor fremstilt i en silisium-pa-isolator struktur og som har redusert strompaslagsdrift |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO328304(B1) |
申请公布日期 |
2010.01.25 |
| 申请号 |
NO20040003014 |
申请日期 |
2004.07.15 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC |
发明人 |
JOHNSON RUSSELL L |
| 分类号 |
G01L9/06;G01D3/028;G01D5/18;G01L9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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