发明名称 DISPOSITIF DE PROJECTION INTERFEROMETRIQUE A TROIS OUVERTURES POUR PRODUIRE UNE TACHE CONSTITUEE DE STRUCTURES FINES
摘要 <p>La présente invention concerne un dispositif de projection d'une lumière cohérente sur une cible (1), comprenant un système de projection (4) sur la cible (1). Le système de projection (4) comporte des moyens de division (5) du faisceau (3) en trois sous-faisceaux (6,6',6"), les moyens de projection 7, 7', 7" et leurs moyens associés 9,9',9" de focalisation et de pointage. Le dispositif est apte à permettre la projection cohérente conjointement desdits trois sous-faisceaux (6,6',6") sur une même zone (1') de ladite cible (1). Autant que faire se peut, les trois sous-faisceaux (6,6',6") présentent la même intensité, la même polarisation, un chemin optique de même longueur, et la même orientation de pupille au niveau des ouvertures respectives 7,7',7". La présente invention concerne également l'utilisation du dispositif pour la de mesure de la pente d'une surface d'onde incidente sur une cible.</p>
申请公布号 FR2934058(A1) 申请公布日期 2010.01.22
申请号 FR20080054813 申请日期 2008.07.15
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.) 发明人 FOY RENAUD;TALLON MICHEL;PERRUCHOT SANDRINE;LE VAN SUU AUGUSTE;BLANC PIERRE ERIC
分类号 G02B27/10;G01J9/02 主分类号 G02B27/10
代理机构 代理人
主权项
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