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发明名称 Two step motion shutter module and semiconductor manufacturing apparatus comprising the same
摘要
申请公布号 KR100938245(B1) 申请公布日期 2010.01.22
申请号 KR20070138851 申请日期 2007.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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