一种共用光罩布局方法

摘要

本发明提供一种共享光罩布局方法及使用其之半导体元件制造方法。在光罩布局中，将多个电路设计布局于试产型光罩上，其中可能导入量产之主要电路设计集中占据试产型光罩之位置，而尚未打算导入量产的其余的电路设计则占据试产型光罩之边缘位置。接着，利用试产型光罩进行试产并验证。如果第一电路设计通过验证之后，遮蔽该些边缘位置即可得到第一电路设计专属的量产型光罩。如此即可利用量产型光罩进行第一电路设计之量产，并不需要额外再设计与制造另一套量产型光罩。

主权项

一种共用光罩布局方法，包括：将复数个电路设计布局于一试产型光罩上，其中一第一电路设计占据该试产型光罩之主要位置，而其余的电路设计则占据该试产型光罩之边缘位置；利用该试产型光罩进行试产并验证；当该第一电路设计通过验证之后，改变该试产型光罩以得到一量产型光罩，其中该量产型光罩只包括该第一电路设计；以及利用该量产型光罩进行该第一电路设计之量产。