液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明为以降低TFT液晶显示装置之生产费用，而于4道光罩－制程之后推进向开发3道光罩－制程为目的。首先形成由低电阻金属层，与可使用蚀刻气体去除(护层绝缘层(passivation)与)闸绝缘层之耐热金属层经层合所形成之源极－汲极(Source－Drain)电路，且于至少赋予保护绝缘闸型电晶体之通道(channel)与讯号线之手段后，使用该截面形状为倒锥型形状之感光性树脂图型，而于包含闸绝缘层之绝缘层形成开口部，将前述开口部内所露出之低电阻金属层去除后，使前述感光性树脂图型作为举离(lift－off)材料，经由对画素电极用导电性薄膜层之举离而形成画素电极。如此，经由开口部之形成步骤，与开口部形成步骤之后的画素电极形成步骤下，即可省却使用1道光罩之半色调(half－tone)曝光技术下即可进行处理。

主权项

一种液晶显示装置，包括：一第一透明性绝缘基板，包括一主平面、一画素电极形成区域、一扫描线之电极端子形成区域、一画像显示部、与一讯号线之电极端子形成区域；至少一绝缘闸型电晶体，设置于该主平面上，其中该绝缘闸型电晶体包括一源极电路、一汲极电路、一闸电极、一通道、与一保护层；至少一扫描线，设置于该主平面上，该扫描线兼作该绝缘闸型电晶体之该闸电极；至少一讯号线，设置于该主平面上，该讯号线兼作该源极电路；复数个开口部，形成于该画素电极形成区域、该扫描线之电极端子形成区域、与该讯号线之电极端子形成区域，其中该画素电极形成区域包括部分该汲极电路且位于该画像显示部中，该扫描线之电极端子形成区域包含部份该扫描线且位于该画像显示部之外，该讯号线之电极端子形成区域包含部份该讯号线且位于该画像显示部之外，而且该等开口部中暴露出该耐热金属层所形成之该汲极电路的一部份、该第一透明性绝缘基板、该扫描线之一部份、与该耐热金属层所形成之该讯号线的一部份；复数单位画素，设置于该主平面上，排列成二次元矩阵阵列，其中每一单位画素包括一有连接该汲极电路之画素电极；一第二透明性绝缘基板或一彩色滤光片，对向于该第一透明性绝缘基板；以及一液晶填充于该第一透明性绝缘基板与该第二透明性绝缘基板之间；其中，该绝缘闸型电晶体为底闸型；其中，该源极-汲极电路具有一低电阻金属层与一耐热金属层，其中该耐热金属层可被用来去除绝缘层之蚀刻气体所去除；其中，该保护层，系用以保护该绝缘闸型电晶体之至少该通道与该讯号线，并且该保护层为一护层绝缘层、一保护绝缘层、一感光性有机绝缘层、或其组合；其中，形成于包含部份该汲极电路之该画素电极形成区域中之该画素电极、形成于包含部分该扫描线之该扫描线之电极端子形成区域中之扫描线之电极端子、及形成于包含部分该讯号线之讯号线电极端子形成区域中之该讯号线电极端子均由相同之导电性薄膜所构成。