毛细压印技术

摘要

本发明提供一种利用具有一模之模板图案化一基板的方法，其特征为放置依从性材料于该基板及该模之间，并经由介于该依从性材料及该模和该基板间之毛细作用充填一介于该模及该基板间定义之体积之依从性材料。之后固化该依从性材料。特别地，若不避免，介于该模及该基板之距离被控制至一足够程度来减少介于该模及该基板间之压力。因此，当该模及该依从性材料开始接触，介于该模及该基板间之体积发生自动毛细充填。

主权项

一种利用具有一模之模板来图案化一基板的方法，该方法包含：将依从性材料定位于该基板及该模之间；经由介于该依从性材料与该模和该基板中之一者间的毛细作用，令一介于该模及该基板间所界定之体积充填有该依从性材料；以及固化该依从性材料。