基板材用输送带

摘要

本发明提出一种基板材用输送带，此输送带第一系可防止基板材的摇晃及蛇行，故可避免发生基板材折损、绉折、掉落等之搬送问题，提高搬送精确度并实现稳定搬送，再者第二，前述情事可在不对基板材造成擦伤、伤痕、损伤等破坏情形下实现。此输送带(3)系使用于基板材(A)之表面处理装置(1)。表面处理装置(1)包含有处理液(A)之药液槽(5)、于药液槽(5)内在液体中搬送基板材(A)之输送带(3)、及于液体中对基板材(A)喷射处理液(B)之喷嘴。输送带(3)系列设有不碰触基板材(A)的电路形成面(D)，且由上下挟住左右两侧端面(E)而加以运送的滚子(8,9)，又，作为滚子(8,9)，系组合采用朝向搬送方向的直进式滚子(R1)，及相对于搬送方向略朝向外侧之倾斜式滚子(R2)。

主权项

一种基板材用输送带，系基板材的表面处理装置之输送带，其特征为前述表面处理装置包含有充满处理液之药液槽、于该药液槽内在液体中搬送基板材之前述输送带、及在该药液槽内于液体中对基板材喷射处理液之喷嘴，前述输送带，系不碰触基板材的电路形成面而由上下仅挟住基板材的左右两侧端面而加以运送的滚子，朝搬送方向上列设，又，前述滚子系组合朝向搬送方向之直进式滚子，及相对于搬送方向而略朝向外侧的倾斜式滚子而加以采用。