摘要 |
Die Erfindung betrifft ein automatisiertes Lager (2), bestehend aus einer Messeinheit (24) zur Messung des Reinraums, das von einem Entnahme- und Lagergerät in einer Zelle (22) angeordnet wird, um den Zellenreinraum zu messen. Auf der Grundlage eines Messergebnisses werden eine Gebläsefiltereinheit (18) oder ein Entlüftungsventil (26) gesteuert, um den Reinraum der Zelle auf einem bestimmten Pegel oder darüber zu halten (Fig. 2).
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