发明名称 UNG
摘要
申请公布号 DE60140749(D1) 申请公布日期 2010.01.21
申请号 DE20016040749 申请日期 2001.07.10
申请人 TEL EPION INC. 发明人 ALLEN, LISA P.;FENNER, DAVID B.
分类号 H01J27/20;H01J37/305;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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