发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SELECTIVE ETCHING OF INSULATING LAYERS
摘要
申请公布号 CA877587(A) 申请公布日期 1971.08.03
申请号 CAD877587 申请日期
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人 JOSEPH E. JOHNSON;ALAN J. SIMON;TERENCE W. O'KEEFFE
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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