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发明名称 DUAL DAMASCENE VIA FILLING COMPOSITION
摘要 Compositions for use in dual damascene process are disclosed.
申请公布号 US2010015550(A1) 申请公布日期 2010.01.21
申请号 US20080174718 申请日期 2008.07.17
申请人 LIU WEIHONG;LIN GUANYANG;MULLEN SALEM K;YIN JIAN;NEISSER MARK 发明人 LIU WEIHONG;LIN GUANYANG;MULLEN SALEM K.;YIN JIAN;NEISSER MARK
分类号 G03F7/20;G03F7/004 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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