发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VON OBERFLÄCHEN MIT HILFE EINES GLIMMENTLADUNGS-PLASMAS
摘要
申请公布号 DE50115255(D1) 申请公布日期 2010.01.21
申请号 DE20015015255 申请日期 2001.09.17
申请人 TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A. 发明人 SCHWARZENBACH, WALTER;ROESSLER, BERTRAND;FAYET, PIERRE
分类号 H01J37/32;H05H1/24;B01J19/08;C08J7/00;C08J7/06;C23C16/503;C23C16/505 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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