Piezoelektrische Pumpe mit hohem Durchfluss

摘要

Eine piezoelektrische Pumpe zum Pumpen eines Fluids mit einer hohen Durchflussrate umfasst ein Gehäuse und ein Stellglied, das sich in dem Gehäuse befindet. Eine an das Stellglied angelegte elektrische Spannung bewirkt, dass das Stellglied eine Kraft auf eine erste Membran aufbringt, die sich in der Nähe des Stellglieds befindet. Eine Kolbenanordnung befindet sich in dem Gehäuse und kann zwischen zumindest einer ersten Position und einer zweiten Position bewegt werden. Eine erste Fluidkammer ist durch das Gehäuse, die erste Membran und die Kolbenanordnung definiert. Ein Kopplungsfluid befindet sich in der ersten Fluidkammer zum Koppeln der ersten Membran mit der Kolbenanordnung. Eine zweite Fluidkammer ist durch das Gehäuse und die Kolbenanordnung definiert. Ein Einlassventil steht in Verbindung mit der zweiten Fluidkammer und ein Auslassventil steht in Verbindung mit der zweiten Fluidkammer.