发明名称 Endblock für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target und Vakuumbeschichtungsanlage
摘要 Es wird ein Endblock für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target vorgeschlagen, der ein Endblockgehäuse mit einem Drehlager umfasst, wobei das Endblockgehäuse an seiner Außenseite zur Anbringung an einer Stützeinrichtung ausgebildet ist, und das Drehlager an seinem von außerhalb des Endblockgehäuses zugänglichen Ende zur Verbindung mit dem rotierenden Target ausgebildet ist, wobei die Anbringung des Endblockgehäuses an der Stützeinrichtung beweglich ausgebildet ist. Weiterhin wird bei einer Vakuumbeschichtungsanlage mit einer Vakuumkammer und einer in der Vakuumkammer angeordneten Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target, welches an mindestens einem Endblock drehbar gelagert ist, vorgeschlagen, dass mindestens ein Endblock wie oben beschrieben ausgestaltet ist.
申请公布号 DE102008033902(A1) 申请公布日期 2010.01.21
申请号 DE200810033902 申请日期 2008.07.18
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 HEINRICH, HANS-JUERGEN;GROSER, GOETZ;HAEHNE, SVEN;SEYFERT, ULF
分类号 H01J37/34;C23C14/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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