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Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Verhinderung der Polymerisation bei der Herstellung oder Handhabung von ungesättigten Organosiliciumverbindungen (S) der allgemeinen Formel (1) H2C=C(R1) [C(O)O]w(O)x-(R2)y-Si(R3)z(OR4)3-z (1), wobei R1, R2, R3, R4, w, x, y und z die in Anspruch 1 angegebenen Bedeutungen aufweisen, wobei mindestens ein Schritt der Herstellung oder Handhabung in einer technischen Anlage (A) durchgeführt wird, deren die Organosiliciumverbindungen (S) berührenden Oberflächen zu mindestens 70% aus einem eisenfreien Werkstoff bestehen, wobei ein Werkstoff als eisenfrei bezeichnet wird, wenn er weniger als 1 Gew.-% Eisen enthält, wobei diese technische Anlage (A) entweder eine Anlage für einen Batchprozess mit einem Füllvolumen von mindestens 200 l oder eine Anlage für einen kontinuierlichen Prozess mit einem Durchsatz von mindestens 15 l/h darstellt.
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