摘要 |
LED-Beleuchtung für ein optisches Prüfgerät mit Mikroskopoptik (8) zur Erzeugung einer mikroskopischen Abbildung wird beschrieben, wobei die LED-Beleuchtung eine Mehrzahl von LED-Einheiten (1, 2, 3) zur Prüfobjektbeleuchtung an unterschiedlichen Positionen am Prüfgerät umfasst. Die LED-Beleuchtung weist mindestens zwei unterschiedlich positionierte LED-Beleuchtungseinheiten (1, 2, 3) zur Erzeugung unterschiedlicher Beleuchtungsarten auf, die eine Beleuchtung im fernen Dunkelfeld, eine Beleuchtung im nahen Dunkelfeld, und die Beleuchtung im Hellfeld jeweils bedient.
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