发明名称 LED-Beleuchtungssystem für ein elektrisches Prüfsystem
摘要 LED-Beleuchtung für ein optisches Prüfgerät mit Mikroskopoptik (8) zur Erzeugung einer mikroskopischen Abbildung wird beschrieben, wobei die LED-Beleuchtung eine Mehrzahl von LED-Einheiten (1, 2, 3) zur Prüfobjektbeleuchtung an unterschiedlichen Positionen am Prüfgerät umfasst. Die LED-Beleuchtung weist mindestens zwei unterschiedlich positionierte LED-Beleuchtungseinheiten (1, 2, 3) zur Erzeugung unterschiedlicher Beleuchtungsarten auf, die eine Beleuchtung im fernen Dunkelfeld, eine Beleuchtung im nahen Dunkelfeld, und die Beleuchtung im Hellfeld jeweils bedient.
申请公布号 DE102008030425(A1) 申请公布日期 2010.01.21
申请号 DE200810030425 申请日期 2008.06.26
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GERHARD, DETLEF;HEIM, RALF;LECHNER, JOHANNES
分类号 G02B21/06;H01L21/68 主分类号 G02B21/06
代理机构 代理人
主权项
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