| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING DEEP IMPURITY CONCENTRATION IN SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3605015(A) |
申请公布日期 |
1971.09.14 |
| 申请号 |
USD3605015 |
申请日期 |
1970.01.19 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES INC. |
发明人 |
JOHN ALEXANDER COPELAND |
| 分类号 |
G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/22;H01L7/00 |
主分类号 |
G01R31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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