功能化修饰和双向电泳相结合的碳纳米管定向排布技术

摘要

一种纳米加工领域的功能化修饰和双向电泳相结合的碳纳米管定向排布技术，包括：碳纳米管悬浮液的制备：首先将碳纳米管进行表面活化处理，然后采用超声分散处理将碳纳米管分散到有机溶剂中制成碳纳米管悬浮液；纳米电子器件电极对的制备：采用光刻技术在硅片表面的绝缘层上加工制作出电极对，然后将碳纳米管悬浮液滴在电极对表面，使多条碳纳米管置于纳米器件的电极之间；高密度碳纳米管的薄膜的制备：在电极对间采用高频交变电场双向电泳法进行排布处理，使其相互分开且相互平行于电极对之间，然后用紫外线对硅片表面进行辐射处理，完成定向排布处理。经本方法处理后相邻碳纳米管的平均间距分别可达200nm而不发生缠结。

主权项

1、一种功能化修饰和双向电泳相结合的碳纳米管定向排布技术，其特征在于，包括以下步骤：第一步、碳纳米管悬浮液的制备：首先将碳纳米管进行表面活化处理，然后采用超声分散处理将碳纳米管分散到有机溶剂中制成碳纳米管悬浮液；第二步、纳米电子器件电极对的制备：采用光刻技术在硅片表面的绝缘层上加工制作出电极对，然后将碳纳米管悬浮液滴在电极对表面，使多条碳纳米管置于纳米器件的电极之间；第三步、高密度碳纳米管的薄膜的制备：在电极对进行采用高频交变电场进行排布处理，使其相互分开且相互平行于电极对之间，然后用紫外线对硅片表面进行辐射处理，完成定向排布处理。