马赫-曾德尔干涉型微流控光学陀螺芯片

摘要

马赫-曾德尔干涉型微流控光学陀螺芯片采用“上盖板+微型气泵层+光波导层+下底板”的夹心结构，其中：第一层为上盖板(11)，上面留有排气孔(3)、注液孔(2)和电极孔(1、4)；第二层为微型气泵层(12)，其上有微型气泵模块(5、6)，以及对应匹配的排气孔、注液孔及电极孔；第三层为光波导层(13)，除了利用微流道工艺制作的微流道(10)外，中部是储液小槽及与微环腔(9)相通的细流道；第四层为下底板(14)。在该结构中，上盖板(11)、光波导层(13)和下底板(14)皆采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)。上盖板、下底板均镀有反射膜，光波导层(13)的PDMS基质上表面镀有聚乙烯醇(PVA)薄膜。本发明结构简单、容易制作、适于集成，可用于导航及定位。

主权项

1.一种马赫-曾德尔干涉型微流控光学陀螺芯片，其特征在于该芯片的结构采用“上盖板+微型气泵层+光波导层+下底板”的夹心结构，其中：第一层为上盖板(11)，上面留有排气孔(3)、注液孔(2)和第一电极孔(1)、第二电极孔(4)；第二层为由PDMS薄膜构成的微型气泵层(12)，其上有第一微型气泵模块(5)、第二微型气泵模块(6)，以及与上盖板(11)对应匹配的排气孔、注液孔及电极孔；第三层为光波导层(13)，其中的微流道(10)与中部的储液小槽及与微环腔(9)相连通；第四层为下底板(14)，在下底板下有支撑系统的支点；从横向看，第一微型气泵模块(5)及第二微型气泵模块(6)分别加载于微环腔(9)两侧，环形流道与中部的储液小槽相连通，并通过上下两部分的第一耦合器(7)、第二耦合器(8)实现与微流道(10)之间的耦合分离与汇聚输出；其中，储液小槽上留有相应的注液孔(2)及排气孔(3)；第一微型气泵模块(5)及第二微型气泵模块(6)上分别留有第一电极孔(1)和第二电极孔(4)。