| 发明名称 | PECVD用硅片载片器的转换装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种PECVD用硅片载片器的转换装置，其包括正方形的框体，框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，框体内设置有正方形内孔，内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。本发明安装于第一种规格的硅片载片器内，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本发明后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便。 | ||
| 申请公布号 | CN101629282A | 申请公布日期 | 2010.01.20 |
| 申请号 | CN200910183765.2 | 申请日期 | 2009.08.07 |
| 申请人 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 发明人 | 尤耀明 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人 | 曹祖良 |
| 主权项 | 1、一种PECVD用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体(3)，其特征是：所述框体(3)的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体(3)内设置有方形内孔(4)，所述方形内孔(4)的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。 | ||
| 地址 | 214092江苏省无锡市滨湖区马山碧波支路8号 | ||