钕铁硼磁体表面磁控电弧离子镀不锈钢防护层的方法

摘要

本发明提供一种钕铁硼磁体表面磁控电弧离子镀不锈钢防护层的方法，将钕铁硼磁体抛光后装炉，抽真空3×10^-1-10⁰Pa，通氩气15-30Pa；接通直流电源，在钕铁硼磁体与真空室壳体之间加上400-600伏负偏压，通过辉光离子轰击对多孔磁体表面进行预处理，清除磁体表面的油膜、氧化膜，时间3-5min；接通弧光电源，引弧钩与不锈钢靶材之间产生弧光放电，单靶工作电流为40-90A，磁控电弧蒸发出的靶材粒子沉积在磁体表面，形成均匀镀覆的防护层，时间60-120min；关闭弧光电源和直流电源，在氩气保护下降温，出炉后抛光。该方法克服了钕铁硼基体湿镀过程中，镀层有孔隙，导致易脱落而达不到防腐功能的缺陷。

主权项

1、一种钕铁硼磁体表面磁控电弧离子镀不锈钢防护层的方法，其特征在于：该方法是按下列步骤实现的：第一步、将多孔钕铁硼磁体抛光后装炉，抽真空3×10-1-100Pa，通氩气15-30Pa；第二步、接通直流电源，在多孔钕铁硼磁体与真空室壳体之间加上400-600伏负偏压，通过辉光离子轰击对多孔钕铁硼磁体表面进行净化、活化预处理，清除磁体表面的油膜、氧化膜，时间3-5min；第三步、接通弧光电源，引弧钩与不锈钢靶材之间产生弧光放电，单靶工作电流为40-90A，磁控电弧蒸发出的靶材粒子沉积在磁体表面，形成均匀镀覆的防护层，时间60-120min，由镀膜厚度而定；第四步、关闭弧光电源，关闭直流电源，在氩气保护下降温，出炉后进行抛光处理。