信息管理方法、信息管理装置以及衬底处理系统

摘要

一种信息管理方法、信息管理装置以及衬底处理系统。衬底处理系统具有群控服务器和终端设备。群控服务器包括：根据从衬底处理装置发送的数据，存储发送出该数据的时刻的衬底处理装置的装置信息的当前信息存储部(402)、将装置信息与时刻相关联来进行存储的装置信息DB(400)、用于存储装置信息被存储的条件的定义信息存储部(404)、以及当存储在定义信息存储部(404)中的条件被满足时，将该条件被满足的时刻与存储在当前信息存储部(402)中装置信息相关联来登记在装置信息DB(400)中的装置信息登记部(410)。终端设备包括对存储在装置信息DB(400)中的装置信息进行检索的装置信息取得部(602)。能缩短终端设备从信息管理装置取得信息所需要的时间。

主权项

1.一种信息管理方法，其根据包含从处理衬底的衬底处理装置发送的装置信息或者事件信息的电文来管理信息，其特征在于：将包含装置信息的电文被发送的时刻的上述衬底处理装置的装置信息存储到第一装置信息存储单元中，并且在包含事件信息的电文被发送出时比较该事件信息与存储上述装置信息的条件，当两者一致时，使上述装置信息和上述事件信息产生的时刻相关联而存储在第二装置信息存储单元中。