溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法，以锌的可溶性有机盐和无机铝盐为前驱物，采用溶剂热法在基片上沉积出铝掺杂氧化锌透明导电膜。本发明的工艺通过控制反应物前驱溶液浓度、铝离子掺杂量、溶剂热反应温度、溶剂热反应时间、反应釜冷却方式和反应釜填充量，在200℃以下温度可以在基片上沉积出铝掺杂氧化锌透明导电膜，并使得薄膜的可见光透过率达到80％，方块电阻小于760Ω。

主权项

1、一种溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法，其特征在于包括有下列步骤：第一步：准备基片将基片依次放入质量百分比浓度为99.0％的丙酮、质量百分比浓度为99.5％的乙醇和去离子水中用超声波清洗各10～20min，再将基片放入50℃～80℃温度下的电热恒温干燥箱中，干燥10～15min后取出得到备用基片；第二步：配置前驱溶液将二水合乙酸锌、无机铝盐、乙二醇甲醚和乙醇胺在60℃～80℃温度下混合得到前驱溶液；用量：100ml的前驱溶液中含有1g～15g的二水合乙酸锌、0.1g～9.0g的无机铝盐、0.3ml～3.5ml的乙醇胺和余量的乙二醇甲醚；第三步：制铝掺杂氧化锌透明导电膜(A)先将第一步得到的备用基片放在反应釜的聚四氟乙烯内衬中；(B)然后将第二步制得的前驱溶液加入反应釜的聚四氟乙烯内衬中，且前驱溶液的填充量为聚四氟乙烯内衬容积的(C)调节溶剂热反应温度为90℃～200℃，溶剂热反应时间1h～48h后，并调节降温梯度0.3℃/min～20℃/min冷却反应釜至20℃～30℃，取出得到AZO/基片；第四步：清洗薄膜将制得的AZO/基片依次使用质量百分比浓度为99.0％的乙二醇甲醚和去离子水清洗，然后放入干燥温度为60℃～80℃的电热恒温干燥箱中干燥10～15min，得到干燥后的AZO/基片。