用于具有主动柔顺性的测试头的操纵器

摘要

一种支承像电子测试头那样的负载的设备。力传感器检测从负载接收的力，该力来源于所述负载不平衡而绕所述负载的转轴产生转矩。力源响应力传感器检测的力，提供相对于负载的反力。还提供了一种把固定在测试头操纵器中的电子测试头与电子器件处理器对接的方法。该对接方法包括测量沿着或绕测试头操纵器的多根运动轴的至少一根的不平衡力的大小，以及为不平衡力提供反力。

主权项

1.一种支承负载的设备，所述设备包括：支承结构，用于支承所述负载；驱动单元，用于沿着某一方向驱动所述支承结构；柔顺单元，用于向所述支承结构提供运动范围，由于所述驱动单元驱动所述支承结构，所述驱动单元改变所述运动范围所处的位置；以及锁定器，用于当所述锁定器处在锁定状态时，把所述负载的位置保持在所述运动范围内的某一点上。