固定装置及其控制方法

摘要

本发明涉及一种固定装置，其包括：一个支撑板，其用以支撑基板；多个夹具，所述多个夹具分别包括一个电线圈；一个第一控制单元，其电连接于所述电线圈，所述第一控制单元包括一个脉冲宽度调制(PWM)控制器，所述脉冲宽度调制(PWM)控制器通过编程而控制所述多个夹具的夹持力的大小；一个第二控制单元，其用于根据检测所述电线圈上产生的反相电动势而判断所述多个夹具夹持所述基板是否到达预定位置。另外，本发明还涉及一种采用上述固定装置的固定装置控制方法。所述固定装置及其控制方法通过设置一第一控制单元及第二控制单元来调节夹持力及检测夹持是否到达预定位置，不仅节省了成本，降低了功耗，也减少了基板破裂的事故。

主权项

1.一种固定装置，所述固定装置包括：一个支撑板，其用以支撑基板；多个夹具，其分别包括一个永磁铁、多个抵片、一个电线圈及一个铁芯；所述永磁铁与所述电线圈相对设置，所述铁芯设置于所述电线圈中心的延伸方向上且该铁芯与所述多个抵片保持同步运动；所述电线圈通电后，所述铁芯及所述多个抵片受所述电线圈所产生的磁力的作用而沿一定方向移动，且当所述铁芯移动并穿过所述电线圈的中心时，将使所述电线圈产生反相电动势；所述永磁铁在所述多个抵片移动到确定位置后将所述多个抵片吸附；一个第一控制单元，其电连接于所述电线圈，所述第一控制单元包括一个脉冲宽度调制(PWM)控制器，所述脉冲宽度调制(PWM)控制器通过编程而控制所述多个夹具的夹持力的大小；一个第二控制单元，其用于根据检测所述电线圈上产生的反相电动势而判断所述多个夹具夹持所述基板是否到达预定位置。