探测设备中的校准特征

摘要

探针阵列的图像搜寻的校准特征。然后利用校准特征让接触目标和和探针相互接触。校准特征可以是探针的一个或多个尖端的特征。例如，这种特征可以是一个尖端的转角(462b)。可以形成具有这样校准特征的探针阵列。

主权项

1.一种探测电子元件的系统，所述系统包括：探测器(220)，所述探测器(220)包括：探针接触器，所述探针接触器包括多个探针，所述多个探针中的各个探针具有被配置以接触所述电子元件的尖端；在一组所述探针中的多个探针中的各个探针包括附加在所述探针接触器的第一端的本体部分以及附加在所述本体部分的第二端的支座，所述支座包括一通常平坦的表面，多个所述尖端中的一个尖端被附加到所述表面；其中对于在所述组中的至少两个探针，尖端的第一边被定位在沿着所述第一边的一预定的最小长度离开所述支座的所述通常平坦的表面的周边的至少一预定的最小距离处；以及在多个所述支座中的任一支座的通常平坦的表面上聚焦照相机；与所述探测器(220)相连的控制器(230)，所述控制器(230)用于：捕捉多个所述支座中的任一支座的通常平坦的表面的图像；在对应于多个所述支座中的任一支座的通常平坦的表面的被捕捉的图像中搜索对应于所述尖端的特定特征的图像特征；以及影响在所述电子元件上的目标和所述探针的尖端之间的接触，所述影响接触包括利用对应于所述尖端的特定特征的所述图像特征以校准所述探针的尖端和在所述电子元件上的目标。