一种基于二氧化钛薄膜的紫外电致发光器件

摘要

本发明公开了一种基于二氧化钛薄膜的紫外电致发光器件，在硅衬底的正面自下而上依次形成SiO₂薄膜、TiO₂薄膜和透明ITO电极，在硅衬底背面沉积欧姆接触电极。本发明同时公开了该紫外电致发光器件的制备方法。本发明的器件可以在偏压下产生来自于TiO₂薄膜的紫外电致发光，并且可以通过调节SiO₂薄膜的厚度和致密度来调节紫外电致发光的强度。器件的结构和实现方式简单，并且，该器件的制备方法所用的设备与现行成熟的硅器件平面工艺兼容。

主权项

1.一种基于二氧化钛薄膜的紫外电致发光器件，其特征在于：在硅衬底(1)的正面自下而上依次是SiO2薄膜(2)、TiO2薄膜(3)和ITO电极(4)，在硅衬底背面沉积欧姆接触电极(5)。