发明名称 |
制备不同微观形貌氧化锌薄膜的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种制备不同微观形貌的氧化锌薄膜的方法,步骤为:(一)水溶液二步生长工艺①衬底表面晶种层的制备;②生长液中取向晶生长;(二)原位二次调节pH值:使用硝酸二次调节生长液pH值至9.8,得到ZnO管状晶阵列薄膜;或者使用25%氨水二次调节生长液pH值至9.2,得到表面绒毛状棒晶。本发明通过对水溶液pH值的原位二次调节的简单途径,完成了ZnO薄膜的微观形貌转变,可实现管状晶和表面绒毛状棒晶的制备。 |
申请公布号 |
CN100582320C |
申请公布日期 |
2010.01.20 |
申请号 |
CN200610130120.9 |
申请日期 |
2006.12.13 |
申请人 |
天津大学 |
发明人 |
靳正国;余可;刘晓新 |
分类号 |
C30B7/00(2006.01)I;C30B28/04(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I;C30B29/62(2006.01)I;C23C18/00(2006.01)I;C01G9/02(2006.01)I |
主分类号 |
C30B7/00(2006.01)I |
代理机构 |
天津市北洋有限责任专利代理事务所 |
代理人 |
曹玉平 |
主权项 |
1.一种制备不同微观形貌氧化锌薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:(一)水溶液二步生长工艺①衬底表面晶种层的制备:室温下,将醋酸锌溶于预先混合的乙二醇甲醚和单乙醇胺溶液,醋酸锌浓度为0.75mol·L-1且单乙醇胺和醋酸锌的物质的量的比为1∶1;于60℃下磁力搅拌30min获得均匀澄清种子溶液;将清洁玻璃衬底浸入种子液,浸渍时间为1min,提拉速度0.85mm·s-1,于80℃烘箱烘干,重复以上操作三次;最后将涂有薄膜的衬底进行热处理,550℃保温1.5h,获得玻璃衬底上的晶种膜;②生长液中取向晶生长:将硝酸锌和25%氨水加入去离子水中,配制20mL的生长液,搅拌均匀并密闭;初始锌溶度范围为0.04~0.08mol·L-1,90℃时初始pH值范围为9.4~9.6;将有晶种层的衬底放入装有生长液的密封烧杯中,于90℃水浴中保持4h,可获得择优取向垂直基片生长的ZnO棒状晶阵列薄膜;(二)原位二次调节pH值使用硝酸二次调节生长液pH值至9.8,并继续保持在90℃水浴中6h,可得到ZnO管状晶阵列薄膜;最后合成的薄膜用去离子水清洗,空气中晾干;或者使用25%氨水二次调节生长液pH值至9.2,并继续保持在90℃水浴中6h,可得到表面绒毛状棒晶;最后合成的薄膜用去离子水清洗,空气中晾干。 |
地址 |
300072天津市南开区卫津路92号 |